（1） 結(jié)構簡單，適應性強
 電容式傳感器結(jié)構簡單，易于制造，精度高；可以做得很小，以實現(xiàn)某些特殊的測量，電容式傳感器一般用金屬作電極，以無機材料作絕緣支承，因此可工作在高低溫、強輻射及強磁場等惡劣的環(huán)境中，能承受很大的溫度變化，承受高壓力、高沖擊、過載等；能測超高壓和低壓差。
 （2） 動態(tài)響應好
 電容式傳感器由于極板間的靜電引力很小，需要的作用能量極小，可動部分可以做得小而薄，質(zhì)量輕，因此固有頻率高，動態(tài)響應時間短，能在幾兆赫的頻率下工作，特適。

605211 NI4-M12-AP6X 7M
 13032     NI4-M12-AZ31X
 1303210 NI4-M12-AZ31X 10M
 4606729 NI4-M12-RN6X
 13132     NI4-M12-RZ31X
 16194     NI4-Q12-AN6X
 16094     NI4-Q12-AP6X
 46532     NI4-S12-AP6X
 16600     NI4-S12-AP6X 5M
 4636203 NI5-EG12SK-AN6X
 4636201 NI5-EG12SK-AP6X
 46353     NI5-G12-AN6
 16801     NI5-G12-AN6 4M
 4635700 NI5-G12-AN6X
 4635711 NI5-G12-AN6X 10M
 4635714 NI5-G12-AN6X 3M
 4635704 NI5-G12-AN6X 4M
 4635606 NI5-G12-AN6X 5M
 4635712 NI5-G12-AN6X 6M（等同T4637512）
4635701 NI5-G12-AN6X/S90
 4635702 NI5-G12-AN6X/S90 4M
 46352     NI5-G12-AP6
 46356     NI5-G12-AP6X
 4635608 NI5-G12-AP6X 10M
 4635603 NI5-G12-AP6X 3M
 4635605 NI5-G12-AP6X 5M
 4635602 NI5-G12-AP6X 7M

圖爾克turck傳感器是將被測量的變化轉(zhuǎn)換為電容量變化的一種裝置，它本身就是一種可變電容器。由于這種傳感器具有結(jié)構簡單，體積小，動態(tài)響應好，靈敏度高，分辨率高，能實現(xiàn)非接觸測量等特點，因而被廣泛應用于位移、加速度、振動、壓力、壓差、液位、等分含量等檢測領域。
 這里主要介紹電容式傳感器的原理、結(jié)構類型、測量電路及其工程應用。當被測量的變化使S、d 或ε 任意一個參數(shù)發(fā)生變化時，電容量也隨之而變，從而完成 了由被測量到電容量的轉(zhuǎn)換。
 中的三個參數(shù)中兩個固定，一個可變，使得電容式傳感器有三種基本類型： 變極距型電容傳感器、變面積型電容傳感器和變介電常數(shù)型電容傳感器。電容式傳感器的測量電路就是將電容式傳感器看成一個電容并轉(zhuǎn)換成電壓或其他電量
 的電路。因此，常用的測量電路主要有橋式電路、調(diào)頻電路、脈沖寬度 制電路、運算放大器電路、二極管雙 T 形交流電橋和環(huán)行二極管充放電法等。 調(diào)頻電路實際是把電容式傳感器作為振蕩器諧振回路的一部分,當輸入量導致電容量發(fā)生變化時，振蕩器的振蕩頻率就發(fā)生變化。雖然可將頻率作為測量系統(tǒng)的輸出量，用以判斷被測非電量的大小，但此時系統(tǒng)是非線性的，不易校正，因此必須加入鑒頻器，將頻率的變化轉(zhuǎn)換為電壓振幅的變化，經(jīng)過放大就可以用儀器指示或記錄儀記錄下來。
 調(diào)頻電容傳感器測量電路具有較高的靈敏度，可以測量高至 0.01 μm 級位移變化量。信號的輸出頻率易于用數(shù)字儀器測量，并與計算機通信，抗干擾能力強，可以發(fā)送、接收以達到遙測遙控的目的。
 因此，在實際應用中，常采用差動式結(jié)構，既使靈敏度提高 1 倍，又使非線性誤差大大降低，抗干擾能力增強。

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 ：李

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